高頻電極的自偏壓是一個(gè)重要的問(wèn)題。但是并不是所有的射頻放電裝置都會(huì)產(chǎn)生自偏壓。如果射頻放電回路中沒(méi)有隔直電容器,則不會(huì)產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(a)所示。如果射頻放電回路中有隔直電容器,則會(huì)產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(b)所示。圖 (共 1714 字) [閱讀本文] >>
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 高頻電極的自偏壓是一個(gè)重要的問(wèn)題。但是并不是所有的射頻放電裝置都會(huì)產(chǎn)生自偏壓。如果射頻放電回路中沒(méi)有隔直電容器,則不會(huì)產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(a)所示。如果射頻放電回路中有隔直電容器,則會(huì)產(chǎn)生自偏壓如圖3-19(b)所示。圖 (共 1714 字) [閱讀本文] >>