在這一章里我們討論了薄膜CVD的不同方面,對(duì)化學(xué)氣相沉積工藝的關(guān)鍵特征和分子前驅(qū)體的化學(xué)和物理要求作了詳細(xì)說(shuō)明?;瘜W(xué)氣相沉積按順序被分成多步來(lái)進(jìn)行描述,為了在工藝開(kāi)發(fā)方面取得重要進(jìn)步,必須控制和理解其中每一步。 (共 566 字) [閱讀本文] >>
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 在這一章里我們討論了薄膜CVD的不同方面,對(duì)化學(xué)氣相沉積工藝的關(guān)鍵特征和分子前驅(qū)體的化學(xué)和物理要求作了詳細(xì)說(shuō)明?;瘜W(xué)氣相沉積按順序被分成多步來(lái)進(jìn)行描述,為了在工藝開(kāi)發(fā)方面取得重要進(jìn)步,必須控制和理解其中每一步。 (共 566 字) [閱讀本文] >>