海量資源,盡在掌握
 本章的目的是介紹化學(xué)氣相沉積的基本方面和技術(shù)意義。這一章并不是為了提供本領(lǐng)域全面的綜述而是著重于內(nèi)在的原理。這將為讀者提供材料化學(xué)氣相沉積(CVD)方面關(guān)鍵性問題的正確評價,如這個領(lǐng)域是如何發(fā)展到現(xiàn)在的狀況的、 (共 3728 字) [閱讀本文] >>