膜片式液壓微位移執(zhí)行器設(shè)計(jì)與特性分析

摘要： 微位移執(zhí)行器是實(shí)現(xiàn)高精度控制的關(guān)鍵裝置，廣泛應(yīng)用于精密伺服系統(tǒng)、芯片生產(chǎn)以及超精密加工領(lǐng)域。針對(duì)傳統(tǒng)微位移執(zhí)行器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、輸出力小、行程短等問(wèn)題，提出基于帕斯卡原理的膜片式液壓微位移執(zhí)行器。首先，建立了復(fù)合載荷下執(zhí)行器的力學(xué)模型，并采用逐次修正法推導(dǎo)了應(yīng)力-應(yīng)變的迭代求解式。其次，研究了執(zhí)行器關(guān)鍵參數(shù)對(duì)執(zhí)行器行程和應(yīng)力的影響規(guī)律。在此基礎(chǔ)上，建立了以材料強(qiáng)度和設(shè)計(jì)行程為約束的膜...