三維橋式放大機構的柔性微定位平臺的研究與改進

摘要： 在微定位平臺的設計中，引入能夠產(chǎn)生高位移放大倍數(shù)的三維橋式放大機構，并在此基礎上引入了能夠有效減少輸出端寄生位移的四桿對稱式導向機構，從而使所設計的微定位平臺能夠充分結(jié)合二者優(yōu)勢。根據(jù)應變能理論、卡氏第二定理、拉格朗日定理，建立該微定位平臺的靜動態(tài)數(shù)學模型，理論分析了平臺關鍵尺寸對平臺位移放大倍數(shù)的影響；并通過計算獲得了最優(yōu)參數(shù)下的放大倍數(shù)和固有頻率，其值分別為19.90和19...