基于x切薄膜鈮酸鋰平臺的TM模彎曲波導(dǎo)（特邀）

摘要： 由于x切薄膜鈮酸鋰光集成平臺的各向異性，光波導(dǎo)TM模在彎曲過程中容易發(fā)生模式雜化并耦合到其他模式，對TM模的彎曲構(gòu)成了挑戰(zhàn)。以400 nm厚、半刻蝕的鈮酸鋰波導(dǎo)為例，分析了TM_0模在不同波導(dǎo)寬度和傳輸方向下的模式雜化現(xiàn)象，并對其90°彎曲傳輸性能進行仿真。最終得出結(jié)論：在特定波導(dǎo)寬度區(qū)域（約1.7～2.15μm）,TM_0模在90°彎曲過程中不會與其他模式發(fā)生雜化；當波導(dǎo)寬度...