Au修飾SnO₂薄膜兼容型高響應(yīng)乙炔氣體傳感器研制

摘要： 為了實現(xiàn)變壓器油中溶解的乙炔氣體檢測，研發(fā)了一款基于Au修飾SnO₂氣敏薄膜的乙炔氣體傳感器。通過射頻濺射制備SnO₂薄膜，進而通過直流濺射制備Au并改變?yōu)R射時間，得到不同Au修飾量的氣敏薄膜，采用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝開發(fā)了基于氣敏薄膜的乙炔氣體傳感芯片。對比純SnO₂以及不同Au修飾量的SnO₂氣敏薄膜的氣敏性能，結(jié)果顯示，基于20 s-Au修飾的SnO₂薄膜...