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基于GaSe/Ga2O3異質(zhì)結(jié)的自供電日盲紫外光電探測(cè)器

物理學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 8 2024-04-25
摘要： 氧化鎵(Ga2O3)作為超寬禁帶半導(dǎo)體在深紫外探測(cè)領(lǐng)域有極其重要的應(yīng)用價(jià)值.它能與GaSe形成典型的Ⅱ型異質(zhì)結(jié)構(gòu),促進(jìn)載流子分離與傳輸,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高性能的自供電探測(cè).本文利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)在藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)了Ga2O3薄膜,并采用布里奇曼技術(shù)在氧化鎵薄膜上生長(zhǎng)了GaSe薄膜,構(gòu)建了GaSe/β-Ga2O3異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器,分析其中涉及的光物... （共8頁(yè)）

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