功率金屬-氧化物半導體場效應晶體管靜電放電柵源電容解析模型的建立

摘要： 在實際靜電放電測試時,發(fā)現各種功率金屬-氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的靜電放電測試結果均呈現出正反向耐壓不對稱現象,而人體與器件接觸時的靜電放電過程是不區(qū)分正反向的.正反向耐壓差異較大對于功率MOSFET或作為靜電放電保護器件來說都是無法接受的,其造成器件失效的問題格外凸顯.本文通過建立SGT-MOSFET, VUMOSFET和VDMOS在靜電放電正反向電壓下的柵源... （共14頁）