等離子體刻蝕建模中的電子碰撞截面數據

摘要： 半導體芯片是信息時代的基石,諸如大數據、機器學習、人工智能等新興技術領域的快速發(fā)展離不開源自芯片層面的算力支撐.在越來越高的算力需求驅動下,芯片工藝不斷追求更高的集成度與更小的器件體積.作為芯片制造工序的關鍵環(huán)節(jié),刻蝕工藝因此面臨巨大的挑戰(zhàn).基于低溫等離子體處理技術的干法刻蝕工藝是高精細電路圖案刻蝕的首選方案,借助等離子體仿真模擬,人們已經能夠在很大程度上縮小實驗探索的范圍,在...