基于計(jì)算全息圖的大口徑長焦距離軸拋物面反射鏡測量

摘要： 隨著激光脈沖寬度極限的不斷突破以及峰值功率的不斷提高，脈寬壓縮光柵的尺寸需要進(jìn)一步增大。但反射式曝光系統(tǒng)所需大口徑長焦距離軸鏡的高精度加工檢測成為制約大口徑光柵制作的難題。采用計(jì)算全息補(bǔ)償檢測不需要復(fù)雜的設(shè)計(jì)和裝調(diào)，但同樣會引入非回轉(zhuǎn)對稱和復(fù)雜的二維投影畸變。傳統(tǒng)的畸變校正方法由于精度受限或計(jì)算復(fù)雜不利于工程應(yīng)用。提出基于數(shù)值計(jì)算的畸變校正方法，該方法具有簡單通用易于編程的優(yōu)點(diǎn)... （共11頁）