ICF激光驅(qū)動(dòng)裝置用大尺寸激光薄膜元件

摘要： 大尺寸高功率激光薄膜元件是我國神光系列等大型激光裝置中的關(guān)鍵元件，常采用電子束蒸發(fā)技術(shù)，在高質(zhì)量光學(xué)玻璃基底表面，通過交替沉積兩種或多種材料制備而成。典型的高功率激光薄膜元件需具有特定的光譜性能以滿足激光系統(tǒng)的光束傳輸需求，優(yōu)良的力學(xué)性能以最小化波前畸變，高的激光損傷閾值以保障高功率激光裝置的安全穩(wěn)定運(yùn)行?；诖蟪叽绺吖β始す獗∧ぴ年P(guān)鍵性能，在調(diào)研國內(nèi)外相關(guān)研究工作的基礎(chǔ)上...