高效率高功率976 nm半導體激光芯片設計與制備

摘要： 976 nm高功率半導體激光芯片是光纖激光器的核心部件，具有極為重要的產業(yè)價值。報道了課題組在高效率高功率半導體激光芯片的設計、制作與測試方面的研究成果。為了最大限度地提高器件的功率轉換效率，同時滿足苛刻的壽命要求，在設計上采用雙非對稱大光腔波導結構，同時對量子阱結構、波導結構、摻雜以及器件結構進行了優(yōu)化；在外延生長方面，系統(tǒng)地優(yōu)化了生長工藝參數，確保了外延材料具有極高的內量子...