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基于遺傳算法的快軸流CO2激光放大器的參數(shù)優(yōu)化

中國(guó)激光 頁(yè)數(shù)： 8 2024-02-22
摘要： 獲得13.5 nm極紫外光刻光源的主流方案為激光激發(fā)等離子體，即利用高功率、高重復(fù)頻率、高光束質(zhì)量的短脈沖CO2激光與液滴錫靶作用產(chǎn)生極紫外光。高功率CO2激光由振蕩器產(chǎn)生的高重復(fù)頻率CO2種子經(jīng)多級(jí)放大產(chǎn)生，所以功率放大器是驅(qū)動(dòng)光源系統(tǒng)的核心器件之一。建立了射頻激勵(lì)快軸流CO2激光放大器的六溫度模型，可以模擬計(jì)算放大過程中穩(wěn)態(tài)與瞬態(tài)的能量分布情況、光強(qiáng)變化情況、增益系...

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