基于歸一化的高精度EUV反射率測試技術研究

摘要： 基于使用氣體放電等離子體（DPP）極紫外（EUV）光源自研的小型反射率測試裝置，分析了DPP光源參數(shù)及不同型號探測器對反射率測試的影響，提出了一種能量歸一化的反射率測試方法，并測試了13.5 nm波長下Mo/Si多層膜反射鏡的反射率特性。研究結果表明：在相同光源參數(shù)下，SXUV100型探測器的極紫外能量探測性能優(yōu)于AXUV100G型；通過歸一化使光能量波動對反射率測試光束的波動...