激光誘導(dǎo)放電等離子體極紫外光源的研究

摘要： 極紫外光源在半導(dǎo)體制造中的掩模檢測、顯微成像以及光譜計(jì)量等環(huán)節(jié)中有著重要的應(yīng)用。激光誘導(dǎo)放電等離子體是產(chǎn)生極紫外光源的重要技術(shù)手段之一，搭建了一套二氧化碳激光誘導(dǎo)放電產(chǎn)生錫等離子體的實(shí)驗(yàn)裝置，對產(chǎn)生的極紫外光譜進(jìn)行了收集探測，并結(jié)合輻射磁流體動(dòng)力學(xué)模擬對極紫外的輻射特性進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)對比了激光等離子體和放電等離子體的極紫外輻射特性的區(qū)別，發(fā)現(xiàn)放電電壓對激光誘導(dǎo)放電等離子體極紫...