基于高次諧波的高功率高穩(wěn)定13.5 nm極紫外光源

摘要： 開發(fā)了由高重復(fù)頻率（3 kHz）高能量（3 mJ）鈦藍(lán)寶石激光器驅(qū)動的極紫外和軟X射線高次諧波激光光源。該光源系統(tǒng)在30 nm（光子能量為～45 eV）波長附近實(shí)現(xiàn)了大于120μW的平均功率，在13.46 nm波長（光子能量為～92 eV）處實(shí)現(xiàn)了1.9μW的平均功率，其中在13.46 nm波長處帶寬為0.124 nm的單個諧波實(shí)現(xiàn)了0.32μW的平均功率。此外，在該系統(tǒng)中，激...