毛細(xì)管放電46.9 nm極紫外激光應(yīng)用研究進(jìn)展

摘要： 毛細(xì)管放電極紫外激光是一種小型化的納秒極紫外激光光源。相比自由電子激光和同步輻射等短波長(zhǎng)光源，該光源具有運(yùn)行成本低、單脈沖能量高和機(jī)時(shí)充足等顯著優(yōu)勢(shì)。隨著毛細(xì)管放電極紫外激光光源的發(fā)展，其輸出已提高至深度飽和區(qū)，并且實(shí)現(xiàn)了重復(fù)頻率輸出、多波長(zhǎng)輸出等多樣化輸出方式。小型化的靈活性和優(yōu)質(zhì)的輸出參數(shù)使其逐漸成為進(jìn)行極紫外激光應(yīng)用研究的理想光源。本文介紹了自1994年毛細(xì)管放電極紫外激...