用于極紫外光刻的高功率能量回收型自由電子激光光源

摘要： 未來(lái)極紫外光刻技術(shù)的發(fā)展亟需更高功率的光刻光源，能量回收型自由電子激光光源可以實(shí)現(xiàn)千瓦量級(jí)以上的功率輸出，是一種極具潛力的高功率極紫外光刻光源。主要介紹了高功率能量回收型自由電子激光光源的工作原理、發(fā)展現(xiàn)狀以及所面臨的關(guān)鍵技術(shù)挑戰(zhàn)。