高重復(fù)頻率、高功率高次諧波極紫外光源進(jìn)展及應(yīng)用

摘要： 超短超強(qiáng)激光脈沖驅(qū)動(dòng)的高次諧波是一種極紫外到軟X射線波段的光源，具有指向性好、時(shí)空相干性高、亮度高等優(yōu)點(diǎn)。高次諧波不但是在阿秒時(shí)間尺度上研究電子動(dòng)力學(xué)的基礎(chǔ)，而且其各類(lèi)技術(shù)優(yōu)點(diǎn)也使之成為一種有效的桌面型極紫外相干光源，在集成電路制造在線檢測(cè)、材料科學(xué)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。然而，受限于傳統(tǒng)鈦藍(lán)寶石固體飛秒激光的平均功率和高次諧波傳播過(guò)程中的轉(zhuǎn)換效率，目前高次諧波極紫外光...