同步環(huán)帶子孔徑干涉非球面檢測方法
光學(xué)學(xué)報(bào)
頁數(shù)： 9 2024-02-22
摘要： 提出一種可用于非球面面形檢測的同步環(huán)帶子孔徑干涉（SASI）檢測方法。該方法利用雙焦點(diǎn)透鏡形成兩個(gè)測量波前來匹配非球面不同子孔徑區(qū)域，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)非球面的同步環(huán)帶子孔徑干涉測量。分析SASI檢測非球面面形的原理，確定雙焦點(diǎn)透鏡的焦點(diǎn)間距選取原則，建立子孔徑的基準(zhǔn)統(tǒng)一模型，通過光學(xué)追跡軟件輔助建模和坐標(biāo)變換實(shí)現(xiàn)子孔徑基準(zhǔn)統(tǒng)一與非球面面形重構(gòu)。結(jié)合實(shí)例對一個(gè)口徑為90 mm、頂點(diǎn)曲率半... （共9頁）
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