基于馬赫-曾德爾干涉儀的1×8硅基熱光開關(guān)

摘要： 設(shè)計(jì)并制備了一種基于樹形結(jié)構(gòu)的1×8硅基熱光開關(guān)，該熱光開關(guān)由1個2×2和6個1×2馬赫-曾德爾干涉儀的基本單元結(jié)構(gòu)組成。該1×8硅基熱光開關(guān)采用與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體兼容的工藝制造。通過氮化鈦加熱器來改變波導(dǎo)的溫度，利用硅的熱光效應(yīng)實(shí)現(xiàn)光開關(guān)功能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：在1550 nm工作波長下，該熱光開關(guān)的平均片上插入損耗約為1.1 dB；所有輸出端口的串?dāng)_都小于-23.6 dB；...