基于馬赫-曾德爾干涉儀的1×8硅基熱光開關

摘要： 設計并制備了一種基于樹形結構的1×8硅基熱光開關，該熱光開關由1個2×2和6個1×2馬赫-曾德爾干涉儀的基本單元結構組成。該1×8硅基熱光開關采用與互補金屬氧化物半導體兼容的工藝制造。通過氮化鈦加熱器來改變波導的溫度，利用硅的熱光效應實現(xiàn)光開關功能。實驗結果表明：在1550 nm工作波長下，該熱光開關的平均片上插入損耗約為1.1 dB；所有輸出端口的串擾都小于-23.6 dB；... （共10頁）