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非均勻電場條件下CO2等離子體流注的模擬研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 頁數(shù): 9 2024-05-08
摘要: CO2等離子體中存在大量電子碰撞反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng),對CO2流注放電進行深入仿真相當困難。建立針-平板電極非均勻電場模型,采用等離子體流體模型和自適應(yīng)網(wǎng)格細化方法,對CO2等離子體流注進行數(shù)值模擬研究。研究了外加電壓、放電氣壓等參數(shù)對CO2流注中的空間場強變化、流注中荷電粒子分布、流注速度等參數(shù)的影響。文章有助于深入理解CO2等離子體利用技術(shù)中流注的形成過程。

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