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一種冷陰極電子槍的模擬研究

真空科學與技術學報 頁數(shù): 9 2024-04-18
摘要: 文章通過Computer Simulation Technology粒子工作室軟件建立了一種電子通過率極高的微焦點冷陰極電子槍。重點研究了電子槍自身結構對焦點、電子通過率和陰極發(fā)射電流的影響。特別是仿照了皮爾斯電子槍的結構,采用了一種弧面陰極,并在此基礎上增加了一個陰極凹槽,使電子通過率從75.21%提高到90.26%,同時將近500μm的焦點縮小到50μm以內。最終設計出的冷...

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