當(dāng)前位置：首頁(yè) > 科技文檔 > 物理學(xué) > 正文

1064 nm激光入射角度對(duì)HfO2薄膜材料損傷特性的影響研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 11 2024-04-19
摘要： 脈沖激光參數(shù)及其與物質(zhì)作用方式，對(duì)薄膜材料的損傷過程與損傷識(shí)別至關(guān)重要。以單層HfO2薄膜為對(duì)象，研究了改變波長(zhǎng)為1064 nm、脈寬為10 ns的脈沖激光入射角度對(duì)薄膜材料損傷特性的影響。利用COMSOL對(duì)激光以不同入射角度作用于薄膜時(shí)的溫度場(chǎng)變化，以及薄膜表面光斑形狀的變化進(jìn)行了仿真。以1-on-1測(cè)量方式，選擇入射角度分別為0°、30°、45°、60°對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試，獲...

開通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件