1064 nm激光入射角度對HfO₂薄膜材料損傷特性的影響研究

摘要： 脈沖激光參數(shù)及其與物質(zhì)作用方式，對薄膜材料的損傷過程與損傷識別至關(guān)重要。以單層HfO₂薄膜為對象，研究了改變波長為1064 nm、脈寬為10 ns的脈沖激光入射角度對薄膜材料損傷特性的影響。利用COMSOL對激光以不同入射角度作用于薄膜時的溫度場變化，以及薄膜表面光斑形狀的變化進行了仿真。以1-on-1測量方式，選擇入射角度分別為0°、30°、45°、60°對樣品進行測試，獲... （共11頁）