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聚焦電流和陰極位置對束流品質(zhì)影響的CST仿真

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 8 2023-11-23
摘要： 電子槍的陰極位置和聚焦電流大小會(huì)影響電子束的焦距和束斑形貌，進(jìn)而影響增材制造零件的質(zhì)量。首先根據(jù)實(shí)際的電子槍結(jié)構(gòu)，建立了1∶1三維電子槍物理模型和有限元分析模型，并采用CST軟件的粒子工作室模塊進(jìn)行了仿真，研究了聚焦電流大小和陰極位置對電子束的焦點(diǎn)位置和束斑形貌的影響。仿真結(jié)果表明：聚集電流為460 mA，陰極下表面距柵極上表面為1.0 mm時(shí)，電子束在工作平面處的束斑直徑為0...

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