一種分時差分的頻率調(diào)制MEMS加速度計

摘要： 為提升MEMS加速度計溫度適應(yīng)性，設(shè)計了頻率調(diào)制和分時差分方法。基于靜電剛度效應(yīng)，將敏感質(zhì)量塊因加速度產(chǎn)生的位移變化調(diào)制成諧振頻率的變化，兼顧了位移檢測的溫度系數(shù)較低與諧振頻率檢測不易受電路噪聲干擾的優(yōu)點，且采用單個諧振器在時間上通過剛度切換進(jìn)行分時差分，從而降低零偏隨溫度的漂移。通過實驗測得，在10 V調(diào)諧電壓下，加速度計室溫下的零偏穩(wěn)定性為76.79μg。-40℃～60℃全... （共7頁）