石英MEMS陀螺檢測電極分布參數(shù)優(yōu)化
中國慣性技術(shù)學(xué)報
頁數(shù): 6 2024-06-30
摘要: 針對石英微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺檢測電極輸出感應(yīng)電壓較低問題,通過優(yōu)化檢測電極分布參數(shù),提升其機械靈敏度。首先,分析檢測電極分布參數(shù)對陀螺輸出感應(yīng)電荷的影響,確定優(yōu)化方案的控制參數(shù)和目標(biāo)函數(shù)。其次,基于有限元方法(FEM)構(gòu)建三種石英MEMS陀螺的機電耦合模型。最后,使用內(nèi)爾德-米德(NM)算法優(yōu)化檢測電極分布參數(shù)。實驗結(jié)果表明,優(yōu)化后的檢測電極分布參數(shù)更加合理,石英MEMS... (共6頁)