可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器壓電驅(qū)動系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計

摘要： 針對可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器中普遍存在的輸出光頻率無跳模調(diào)諧范圍小、掃描頻率低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜等亟待解決的問題，研究了可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器內(nèi)部壓電驅(qū)動系統(tǒng)的動力學(xué)特性。基于提高回轉(zhuǎn)精度、降低軸心偏移量的設(shè)計目標，提出了一種多葉片并聯(lián)的星型柔性機構(gòu)結(jié)構(gòu)。基于Lagrange方程和Duhamel積分，分別建立了壓電驅(qū)動系統(tǒng)的運動微分方程和振動方程，在此基礎(chǔ)上建立了柔性機構(gòu)的動力學(xué)模型并對其結(jié)構(gòu)參...