微流控芯片流體動壓拋光工藝研究

摘要： 基于流體動壓潤滑理論設計了微結構拋光球，理論分析得出微結構在拋光球轉動過程中會產生更大的流體動壓力；利用Fluent分析了微結構類型、微結構尺寸對拋光產生的動壓力的影響，通過MATLAB擬合Fluent的數(shù)據(jù)得到其產生的拋光力。得到微結構的較優(yōu)參數(shù)后進行微流控芯片的區(qū)域拋光，微流控芯片平面區(qū)域表面粗糙度從1.330 nm降至0.658 nm,流道表面粗糙度從0.737 nm降至... （共7頁）