LCD面板C/FOG工藝制造虛擬計量方法研究

摘要： 針對液晶顯示器(LCD)面板的“Chip/FPC on Glass”(C/FOG)工藝生產(chǎn)制造過程中存在的計量延遲大、生產(chǎn)異常無法提前預測的問題，本文提出一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的C/FOG工藝生產(chǎn)制造虛擬計量方法。該方法利用生產(chǎn)機臺上的傳感器采集生產(chǎn)過程中的過程狀態(tài)數(shù)據(jù)，構(gòu)建基于多尺度一維卷積及通道注意力模型(MS1DC-CA)的虛擬計量模型。通過多個尺度的卷積核提取不同尺度范圍內(nèi)的...