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壓電復(fù)合薄膜的SAW器件雜波抑制及仿真方法

壓電與聲光 頁(yè)數(shù)： 7 2024-08-20
摘要： 針對(duì)任意復(fù)雜膜系結(jié)構(gòu)壓電復(fù)合薄膜聲表面波(SAW)器件橫向雜波抑制及精確快速仿真方法，從數(shù)學(xué)上嚴(yán)格分析推導(dǎo)了有限長(zhǎng)結(jié)構(gòu)分層級(jí)聯(lián)理論和色散2D-COM模型，可精確快速地計(jì)算壓電復(fù)合薄膜SAW器件傳播方向及孔徑方向結(jié)構(gòu)對(duì)雜波模式的影響，并通過(guò)色散2D-COM模型對(duì)SAW器件雜波抑制進(jìn)行綜合分析。通過(guò)對(duì)41°Y-X LiNbO3/SiO2/Si＿poly/Si(111)復(fù)合襯底S...

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