石英濕法腐蝕及諧振器制作工藝研究

摘要： 隨著石英諧振器向小型化、高頻化發(fā)展，其尺寸越來越小，因此，低成本的諧振器精準(zhǔn)制造工藝尤為重要。該文對(duì)石英晶片進(jìn)行腐蝕實(shí)驗(yàn)以確定精準(zhǔn)制造矩形諧振器的最佳工藝條件，研究了溫度對(duì)金屬保護(hù)層完整性的影響，以及腐蝕時(shí)間對(duì)石英表面粗糙度的影響。腐蝕速率穩(wěn)定且適中，有利于諧振器的精準(zhǔn)制造。設(shè)計(jì)了石英諧振器工藝流程，得到質(zhì)量較好的超薄矩形AT切高頻石英諧振器。分析其尺寸誤差產(chǎn)生的原因，并總結(jié)了...