基于IDT/ZnO/AlN/Diamond結構的混合SAW/BAW壓力敏感元件特性研究

摘要： 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同結構混合SAW/BAW器件的聲學特性，包括層狀薄膜結構、ZnO薄膜刻蝕結構和填充結構。結果表明，當h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蝕(d/h_(ZnO)=1)時，刻蝕結構混合SAW/BAW(準西沙瓦波)的機電耦合系數(shù)(K~2)取得最大值6.54%,比層狀結構(d/h_(Zn...