當(dāng)前位置：首頁(yè) > 科技文檔 > 無(wú)線電子 > 正文

背腔刻蝕型橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器制備技術(shù)研究

壓電與聲光 頁(yè)數(shù)： 4 2024-06-20
摘要： 隨著移動(dòng)通信技術(shù)的快速發(fā)展，薄膜體聲波濾波器逐漸向高頻和大帶寬方向發(fā)展。該文研究了POI(LiNbO3/SiO2/Si)基片上背腔刻蝕型橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器制作工藝，通過(guò)研究POI基IDT光刻、背腔硅刻蝕等工藝，確定了IDT層曝光量和背腔刻蝕等關(guān)鍵工藝參數(shù)。研制出的背腔刻蝕型橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器，其諧振頻率為4 565 MHz,反諧振頻率為5 035 MHz,機(jī)電耦...

開(kāi)通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開(kāi)通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無(wú)機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無(wú)線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件