C波段橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器設(shè)計(jì)與制備
壓電與聲光
頁數(shù)： 5 2024-06-20
摘要： 針對(duì)未來移動(dòng)通信對(duì)射頻前端器件提出的多頻率、高集成新要求，開展了兼具聲表面波(SAW)諧振器和薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)特點(diǎn)的新型橫向激勵(lì)蘭姆波諧振器研究。該文介紹了基于c軸擇優(yōu)取向氮化鋁(AlN)壓電薄膜的C波段橫向激勵(lì)薄膜體聲波諧振器(XBAR)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、參數(shù)優(yōu)化和制備方法，并進(jìn)行了工藝驗(yàn)證。通過剝離和刻蝕等步驟制備了諧振頻率4.464 GHz、品質(zhì)因數(shù)3 039、...
APP 