基于液壓放大的壓電微動平臺設計與試驗

摘要： 針對傳統(tǒng)微動平臺難以滿足微/納米定位的要求，該文結合液壓放大原理，提出一種基于液壓放大的兩自由度壓電微動平臺，并對其進行了結構設計。采用正交設計方法對其進行有限元雙向流固耦合分析，優(yōu)化了其結構參數(shù)。研制了實物樣機并進行試驗研究。開環(huán)控制試驗結果表明，當壓電驅動器輸入為90μm時，壓電微動平臺最大輸出位移為603.0μm,放大倍數(shù)約為6.7;閉環(huán)控制試驗結果表明，采用分段微分、積... （共7頁）