基于蘭姆波壓電諧振器的高頻低相噪MEMS振蕩器仿真研究

摘要： 發(fā)達(dá)的現(xiàn)代通信設(shè)備對(duì)時(shí)鐘源器件提出了更高的要求，在保障頻率信號(hào)穩(wěn)定的同時(shí)還需要器件具備可集成、微型化等特點(diǎn)，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器因其具備這些優(yōu)勢(shì)，已逐漸替代傳統(tǒng)振蕩器，成為電子設(shè)備中信號(hào)源的常用元器件。該文設(shè)計(jì)了一種MEMS振蕩器并對(duì)其進(jìn)行仿真測(cè)試，該振蕩器的核心選頻器件由Lamb波壓電諧振器組成，在應(yīng)用于振蕩電路前，對(duì)設(shè)計(jì)的MEMS諧振器進(jìn)行了仿真測(cè)試，并提出兩種優(yōu)化...