Lamb波模態(tài)體聲波壓電諧振器仿真研究

摘要： 隨著現(xiàn)代通信技術的發(fā)展，對高性能射頻器件的需求愈加急迫。體聲波(BAW)諧振器憑借其獨特的優(yōu)勢，滿足了高頻應用領域的需求，成為當下射頻器件中熱門的研究方向之一。該文提出一種基于叉指電極的蘭姆波S0模態(tài)BAW諧振器，并討論了支撐錨結(jié)構(gòu)和壓電材料對器件的品質(zhì)因數(shù)(Q)值的影響，仿真分析了4種錨結(jié)構(gòu)和3種壓電材料下器件的品質(zhì)因數(shù)情況。同時基于仿真得到的氮化鋁BAW諧振器單元，采用梯形...