FBAR濾波器TRL校準(zhǔn)的仿真與測試

摘要： 針對薄膜體聲波諧振腔（FBAR）濾波器測試夾具誤差校準(zhǔn)，提出一種改進(jìn)的TRL校準(zhǔn)方法，將三維電磁仿真和TRL計算結(jié)合，用于測試套件（夾具和TRL校準(zhǔn)件）的前期設(shè)計與優(yōu)化，確保TRL校準(zhǔn)件達(dá)到足夠精度。由于DUT(device under test，待測器件)參數(shù)未知，實測中采用四種不同結(jié)構(gòu)的測試套件，校準(zhǔn)前各組測試結(jié)果差異較大，但TRL校準(zhǔn)后高度吻合，通帶內(nèi)的差異小于0.2 d...