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硅酸鎵鑭晶體諧振器的高頻振動(dòng)分析

聲學(xué)技術(shù) 頁(yè)數(shù)： 5 2023-12-15
摘要： 利用Mindlin板理論分析了硅酸鎵鑭晶體板強(qiáng)耦合的厚度剪切振動(dòng)和彎曲振動(dòng)，獲得了硅酸鎵鑭晶體板高頻振動(dòng)的色散關(guān)系、頻譜關(guān)系和振動(dòng)模態(tài)位移圖。數(shù)值計(jì)算結(jié)果表明，Mindlin板理論可以獲得硅酸鎵鑭晶體板厚度剪切振動(dòng)的一階精確截止頻率，無(wú)需修正系數(shù)?；谑⒕w諧振器設(shè)計(jì)晶片最佳長(zhǎng)厚比的選取方法，確定了硅酸鎵鑭晶片的最佳尺寸，避免了厚度剪切振動(dòng)模態(tài)和彎曲振動(dòng)模態(tài)的強(qiáng)耦合。通過(guò)繪制...

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