切削液對金剛石線鋸切割β-Ga₂O₃晶片表面質(zhì)量的影響

摘要： 為了開發(fā)出更適合β-Ga₂O₃晶片切片的切削液，探討金剛石線鋸切片過程中不同切削液對β-Ga₂O₃晶片表面質(zhì)量的影響，通過測量接觸角和表面張力，研究不同切削液對β-Ga₂O₃晶片表面的潤濕性。采用粗糙度測量儀、非接觸式測厚儀和掃描電鏡(SEM)對晶片表面進(jìn)行測試表征，研究去離子水、添加AEO-9的水基切削液和乳化切削液在不同工藝參數(shù)下對切割(010)面β-Ga₂O...