基于倒金字塔結構的自供電Si/PEDOT:PSS異質結光電探測器

摘要： 隨著光電器件的進一步發(fā)展，陷光結構得到廣泛關注，但是倒金字塔結構、尺寸與其陷光性能之間的關系有待深入研究。本文采用銅銀共輔助腐蝕法制備倒金字塔結構并實現(xiàn)倒金字塔結構的尺寸在1μm以下調控，研究發(fā)現(xiàn)平均尺寸為1μm倒金字塔結構具有最優(yōu)異的陷光性能。將具有優(yōu)異陷光性能的倒金字塔結構硅襯底應用于Si/PEDOT:PSS異質結光電探測器，該光電探測器在外加0 V偏壓條件下對980 nm...