基于硅基載板微系統(tǒng)封裝的散熱結構研究

摘要： 基于硅基載板與芯片之間有良好的熱膨脹系數(shù)匹配性能和硅通孔(TSV)有高密度的互聯(lián)技術特性，硅基載板廣泛應用于高集成度、高可靠微系統(tǒng)封裝。然而射頻鏈路中存在較大的發(fā)熱，可能導致芯片高溫時無法正常工作，同時在封裝內部產生較大的熱應力，可能引起分層、互聯(lián)失效等可靠性問題，因此硅基載板封裝系統(tǒng)的散熱設計至關重要。文章以典型硅基載板封裝為例，采用數(shù)值仿真方法，研究A型(PCB板)、B型(...