基于多MEMS梁的微波功率檢測(cè)芯片

摘要： 為了優(yōu)化MEMS微波功率檢測(cè)芯片的微波性能，提高其制備的可靠性，建立了懸臂梁結(jié)構(gòu)在線式MEMS微波功率檢測(cè)芯片的S參數(shù)模型，研究了懸臂梁的數(shù)目對(duì)微波功率檢測(cè)芯片微波性能的影響。對(duì)多梁結(jié)構(gòu)微波功率檢測(cè)芯片微波性能進(jìn)行理論推導(dǎo)和仿真，制備了單梁、雙梁結(jié)構(gòu)MEMS微波功率檢測(cè)芯片樣品，并進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明，在8～12 GHz的頻率范圍內(nèi)，單梁結(jié)構(gòu)的微波功率檢測(cè)芯片回波損耗小于-27...