GaAs基高性能MEMS微波功率檢測芯片

摘要： 為了提高電容式MEMS微波功率檢測芯片的性能，設(shè)計了一種GaAs基高性能MEMS微波功率傳感芯片。通過建立雙導固支梁電容模型，分析了傳感芯片的傳輸特性、過載功率與靈敏度特性。在雙導固支梁電容模型中提出了平行極板的兩個等效條件；同時提出了一種新的梁寬等效方式，解決了雙梁結(jié)構(gòu)等效梁寬的失配問題，減小了模型的相對誤差。雙導固支梁電容模型很好地解釋了導向梁的厚長比與初始高度對傳感器過載...