MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器輸出性能優(yōu)化研究

摘要： 環(huán)境測溫二極管在工作時受傳感器芯片熱場影響，常引發(fā)MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器加熱電壓-風(fēng)速曲線異常。將其更換為外置測溫二極管，并調(diào)整其與傳感器芯片距離，成功解決了輸出曲線異?，F(xiàn)象。并在此基礎(chǔ)上，優(yōu)化芯片及外置測溫二極管的封裝方案，消除了熱場的相互干擾和不必要的熱損耗，同時保證了外置測溫二極管與空氣的良好接觸。風(fēng)場測試結(jié)果表明，傳感器的加熱電壓-風(fēng)速曲線變得平滑，且重復(fù)性好，風(fēng)速...