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仿蝦螯式抗沖擊微加速度傳感器設(shè)計

機械強度 頁數(shù)： 6 2024-04-15
摘要： 針對外彈道信息測量過程中，低量程微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)加速度傳感器在上萬g_n過載環(huán)境下的損壞問題，提出了一種仿蝦螯式抗沖擊微加速度傳感器，可以實現(xiàn)抗過載30 000g_n、量程50g_n的指標要求。有限元仿真結(jié)果表明，在50g_n載荷作用下，加速度計敏感單元位移為0.99μm,靈敏度為0.124 pF/g_n... （共6頁）

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