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面向栽培基質(zhì)的二氧化鈦電極EGFET pH傳感器設(shè)計(jì)

排灌機(jī)械工程學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 6 2024-06-24
摘要： 針對農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中栽培基質(zhì)直接在線檢測pH準(zhǔn)確性差的問題，采用化學(xué)腐蝕法，制備出具有氫離子敏感特性和超親水特性的二氧化鈦(TiO2)電極，并且采用退火工藝以提高電極表面硬度；將TiO2電極與金屬氧化物場效應(yīng)晶體管(MOSFET)組合成基于延伸式柵極場效應(yīng)晶體管(EGFET)的pH傳感器.測試得到傳感器靈敏度為0.050 63 V/pH,重復(fù)性試驗(yàn)的變異系數(shù)最大為0.005 7....

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