現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系中科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的深度融合：全球新一代光刻系統(tǒng)的啟示

摘要： 以科技創(chuàng)新引領(lǐng)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)是把握新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革機(jī)遇的戰(zhàn)略選擇，也是面向高水平科技自立自強(qiáng)贏得戰(zhàn)略主動(dòng)的必然之舉?？萍紕?chuàng)新是產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的內(nèi)生動(dòng)力，產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新是科技創(chuàng)新的價(jià)值實(shí)現(xiàn)，構(gòu)建和完善現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的深度融合。文章以全球極紫外（EUV）光刻系統(tǒng)為例，基于創(chuàng)新鏈視角，從“應(yīng)用基礎(chǔ)研究—應(yīng)用研究—中試放大—大規(guī)模量產(chǎn)”4個(gè)階段對(duì)EUV光刻...